株式会社オハラ

i線用高均質性光学ガラスは内部透過率に優れ、ソラリゼーション(紫外線による着色)を極力抑えた、光学的均質性の良い光学ガラスで、半導体製造装置(ステッパー)及び関連装置(照明用等)に使用されています。

• 01内部透過率(τ)

  ガラスの透明性を示す表示は、表面反射損失を含まない分光透過率(τ)で、365nmにおける内部透過率の保証値を示してあります。但し、試料の厚さは10mmです。

• 02ソラリゼーション

  ソーラリゼーションの程度は、照射前の分光透過率80%に対応する波長に於いて、超高圧水銀灯による照射後の分光透過率の減少で表示してあります。詳細な測定方法・条件については、“日本光学硝子工業会規格(JOGIS)”をご参照ください。

• 03光学的均質性

  均質性は平行平面のガラスに対して、He-Neレーザー干渉計を用いて屈折率の局所的変化量Δnを測定し、保証しています。 硝種・寸法・形状によってΔnの保証値が変わる場合がありますので160φ以下・210φ以下及び260φ以下の各々で表示してあります。 納入寸法が25mmより薄い場合には、仮厚み25mm以上で測定し、保証致します。 規格値より厳しいスペックにも対応できますので、ご相談に応じます。

• 04ロット内の屈折率バラツキ

  同一ロット同一アニール処理後のniのバラツキに対する規格を小数点以下5桁目に対して示してあります。 表示例：　±1 (×10⁻⁵)

• 05性能公差

  特別仕様の為、カタログ値より高めの屈折率を基準と考え、そこから±20の公差を加えたものという考え方で屈折率(ｎｉ)の許容範囲を小数点以下5桁目に対して表示してあります。 表示例+20±20

•カタログの様式は弊社光学ガラスマスターカタログの様式に合わせ、i線用以外の光学系にもご利用いただけるようになっております。各諸性質の項目につきましては詳細データ［PDF］をご参照ください。ただし、次の項目につきましては、詳細データ［PDF］と異なっております。

•屈折率は326～2325nmの22スペクトルに対して表示してあります。

•カタログに記載されていない波長に対する屈折率は従来同様にセルマイヤー分散式を利用して計算することができます。分散式の適用範囲を広げた関係でデータシートには326～1129nmの波長域に使用する分散式の定数を 記載してあります。1129nm～2325nmの波長域での屈折率を知りたいときは下記に記載されている分散式の定数をご使用ください。

•内部透過率は従来の10mmの試料厚さに対する内部透過率(τ10)だけでなく、実用に即した25mm厚さにおける内部透過率(τ25)も併せて記載してあります。

(注)光学的均質性規格：硝種や寸法によっては上記数値より厳しいスペックにも対応できますのでご相談ください。

(注)性能公差：上記数値より厳しいスペックにも対応できますのでご相談下さい。