株式会社オハラ

i線用高均質性光学ガラス

iライン(365nm)の透過率と屈折率均質性に優れた材料です。半導体露光装置などの極めて高い品質を要求される用途に使用されます。

iライン(365nm)の透過率と屈折率均質性に優れた材料です。半導体露光装置などの極めて高い品質を要求される用途に使用されます。

製品紹介

i線用高均質性光学ガラスは内部透過率に優れ、ソーラリゼーション(紫外線による着色)を極力抑えた、光学的均質性の良い光学ガラスで、半導体製造装置(ステッパー)及び関連装置(照明用等)に使用されています。

特徴

  • 01内部透過率(τ)

    ガラスの透明性を示す表示は、表面反射損失を含まない分光透過率(τ)で、365nmにおける内部透過率の保証値を示してあります。但し、試料の厚さは10mmです。

  • 02ソーラリゼーション

    ソーラリゼーションの程度は、照射前の分光透過率80%に対応する波長に於いて、超高圧水銀灯による照射後の分光透過率の減少で表示してあります。詳細な測定方法・条件については、“日本光学硝子工業会規格(JOGIS)”をご参照ください。

  • 03光学的均質性

    均質性は平行平面のガラスに対して、He-Neレーザー干渉計を用いて屈折率の局所的変化量Δnを測定し、保証しています。 硝種・寸法・形状によってΔnの保証値が変わる場合がありますので160φ以下・210φ以下及び260φ以下の各々で表示してあります。 納入寸法が25mmより薄い場合には、仮厚み25mm以上で測定し、保証致します。 規格値より厳しいスペックにも対応できますので、ご相談に応じます。

  • 04ロット内の屈折率バラツキ

    同一ロット同一アニール処理後のniのバラツキに対する規格を小数点以下5桁目に対して示してあります。 表示例: ±1 (×10⁻⁵)

  • 05性能公差

    特別仕様の為、カタログ値より高めの屈折率を基準と考え、そこから±20の公差を加えたものという考え方で屈折率(ni)の許容範囲を小数点以下5桁目に対して表示してあります。 表示例+20±20

物性特性

•カタログの様式は弊社光学ガラスマスターカタログ(OHARA95-10)の様式に合わせ、i線用以外の光学系にもご利用いただけるようになっております。各諸性質の項目につきましては詳細データ[PDF]をご参照ください。ただし、次の項目につきましては、詳細データ[PDF]と異なっております。

 

•屈折率は326~2325nmの22スペクトルに対して表示してあります。

 

•カタログに記載されていない波長に対する屈折率は従来同様にセルマイヤー分散式を利用して計算することができます。分散式の適用範囲を広げた関係でデータシートには326~1129nmの波長域に使用する分散式の定数を 記載してあります。1129nm~2325nmの波長域での屈折率を知りたいときは下記に記載されている分散式の定数をご使用ください。

 

•内部透過率は従来の10mmの試料厚さに対する内部透過率(τ10)だけでなく、実用に即した25mm厚さにおける内部透過率(τ25)も併せて記載してあります。

i線用高均質性光学ガラスデータ

硝種名 内部
透過率
τ10mm
(365nm)
耐ソーラリ
ゼーション
光学的均質性規格(×10-6) niのロット内
ばらつき
(×10-5)
性能公差
(×10-5)
160mmΦ
以下
210Φmm
以下
260mmΦ
以下
S-FPL51Y 0.997 良好 ±1.0 ±2 +20±20
S-FSL5Y 0.999 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +15±20
BSL7Y 0.998 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±1 +20±20
BAL15Y 0.994 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
BAL35Y 0.996 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +20±20
BSM51Y 0.995 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +30±20
PBL1Y 0.997 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBL6Y 0.998 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBL25Y 0.995 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBL26Y 0.996 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBL35Y 0.997 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBM2Y 0.986 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBM8Y 0.991 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20
PBM18Y 0.993 良好 ±0.5 ±0.8 ±1.0 ±2 +10±20

(注)光学的均質性規格:硝種や寸法によっては上記数値より厳しいスペックにも対応できますのでご相談ください。

(注)性能公差:上記数値より厳しいスペックにも対応できますのでご相談下さい。

1129nm~2325nmの波長域での分散式の定数

硝種 S-FPL51Y 硝種 BAL35Y 硝種 PBL25Y 硝種 PBM8Y
A1 7.65663766E-01 A1 1.09972335E+00 A1 1.29915001E+00 A1 1.33265695E+00
A2 4.51879777E-01 A2 3.87872537E-01 A2 1.44676555E-01 A2 1.51642865E-01
A3 1.13199134E+00 A3 1.11247378E+00 A3 1.00019303E+00 A3 1.00238959E+00
B1 3.48152533E-03 B1 5.82303457E-03 B1 9.67218844E-03 B1 1.00208464E-02
B2 1.28720516E-02 B2 1.88745144E-02 B2 4.65408008E-02 B2 4.78779669E-02
B3 2.14351131E+02 B3 1.08214962E+02 B3 1.20780522E+02 B3 1.19439670E+02
硝種 S-FSL5Y 硝種 BSM51Y 硝種 PBL26Y 硝種 PBM18Y
A1 8.79731455E-01 A1 1.12268320E+00 A1 1.27520167E+00 A1 1.32558993E+00
A2 3.08634219E-01 A2 4.07804849E-01 A2 1.28823528E-01 A2 1.57859674E-01
A3 1.02136885E+00 A3 1.16161178E+00 A3 1.01138010E+00 A3 1.03396744E+00
B1 4.90947559E-03 B1 5.79521544E-03 B1 9.37656096E-03 B1 1.01008566E-02
B2 1.57419667E-02 B2 1.91303182E-02 B2 4.58001584E-02 B2 4.74276657E-02
B3 1.11412218E+02 B3 1.11113962E+02 B3 1.23589724E+02 B3 1.23686168E+02
硝種 BSL7Y 硝種 PBL1Y 硝種 PBL35Y
A1 1.01218580E+00 A1 1.23587282E+00 A1 1.31884698E+00
A2 2.58122629E-01 A2 1.14028206E-01 A2 1.25014653E-01
A3 1.13916089E+00 A3 9.21822183E-01 A3 2.15794324E-01
B1 5.66358122E-03 B1 8.98302029E-03 B1 1.01474939E-02
B2 1.96285352E-02 B2 4.39009973E-02 B2 4.81636043E-02
B3 1.12904303E+02 B3 1.14338154E+02 B3 2.85517448E+01
硝種 BAL15Y 硝種 PBL6Y 硝種 PBM2Y
A1 1.18261390E+00 A1 1.20208094E+00 A1 1.37920265E+00
A2 2.03921973E-01 A2 1.02467101E-01 A2 1.74908080E-01
A3 1.11763340E+00 A3 1.01797415E+00 A3 9.72480533E-01
B1 6.85280751E-03 B1 8.49251346E-03 B1 1.06616552E-02
B2 2.50893634E-02 B2 4.19306973E-02 B2 4.96089256E-02
B3 1.24101415E+02 B3 1.22687120E+02 B3 1.16926659E+02

用途例

  • 撮影・投影
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  • 計測機器
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  • 宇宙・天体関連
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  • 半導体関連
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