株式会社オハラ

合成石英ガラス(SK-1300 Series)はオハラ・クオーツが超低損失光ファイバー製造技術であるVAD(Vapor-phase Axial Deposition)法を応用し、長年培った製造技術の独自改良により実現した、広範囲波長に利用可能な光透過用途素材です。優れた均質性/耐光性/耐熱性/低膨張などの特性を合わせ持ち、高精度を必要とする半導体製造装置/計測機器/検査装置や高出力レーザー/高輝度ランプなどを用いた過酷な使用環境にも利用されています。また、耐薬品性や生体適合素材であるシリカ(SiO2)のみの純粋な組成であることから、理化学/医療機器やバイオなどにも利用可能です。

• 01広範囲の光透過性

  SK-1300(低水材)では波長165~2,600nm、 SK-1310(無水材)では波長180~3,400nm、 の波長範囲において透過率80%以上の 光透過性を有しております。

• 02優れた均質性

  SK-1300(低水材)をベースに、屈折率均質性1ppm以下まで保証可能な製品をラインアップしております。ロット間のバラツキも屈折率の影響因子が小さい為、100ppm以下の範囲で制御可能です。

• 03優れた耐光性

  利用光の光吸収がほとんどなく、構造が励起されにくいことから、構造劣化/欠陥生成等がされず、良好な透過率を維持します。 励起されやすい紫外線レーザー用途には、特殊なアニール処理を行っています。

• 04優れた耐熱性

  明確な融点を持っておらず、軟化点1,600℃/歪点1,060℃の熱的特性を有しており、使用環境にもよりますが、常用温度900℃/最高温度1,000℃まで利用可能です。

• 05低膨張特性

  線膨張係数は5.5x10-7/K以下で、通常のガラスの1/10程度の膨張率しかなく、精密な温度管理のもとにナノレベルでの制御が可能です。熱衝撃にも強いことから、温度変化の激しい環境下で利用可能です。

• 06耐薬品性/高純度

  フッ酸/リン酸/アルカリ溶液及び雰囲気以外の環境に耐性があり、素材(SiO2)純度は、99.99%以上であるため、環境制御する為の基材として利用可能です。

                                          　　   　  SK-1300(低水材)透過率                                                                                                    　　　

                                                           SK-1310(無水材)透過率    

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  TFT/フォトマスク向け等基板

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  光学素子材

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  各種板類(角板,丸板)

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  管・棒

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