株式会社 小原

i线用高均匀性光学玻璃

这是一种具有出色的i线（365nm）透射率和折射率均匀性的材料。用于半导曝光装置等质量要求极高的用途。

这是一种具有出色的i线（365nm）透射率和折射率均匀性的材料。用于半导曝光装置等质量要求极高的用途。

产品介绍

i线用高均匀性光学玻璃具备优越的内透射率、是可尽量控制日晒(来自紫外线的着色)的高均匀性玻璃，使用于半导体制造设备(准分子激光扫描分步投影光刻机(stepper))和照明用等的相关设备。

特征

  • 01内部透过率(τ)

    表示玻璃透明度的是不含表面反射损失的分光透过率(τ)，记载了365nm范围内的内透射率的保证数值。

  • 02日晒

    对对应照射前的分光透过率80%的波长范围而言，日晒程度以使用超高压水银灯照射后的分光透过率的减少量表示。关于详细测定方法和条件，请参阅“日本光学玻璃工业会规格(JOGIS)”。

  • 03光学均匀性

    对平行平面的玻璃而言，其均匀性可通过使用He-Ne激光干涉仪测定折射率的局所变化量Δn而得以保证。 根据玻璃种类·尺寸·形状，Δn的保证数值会有所不同，因此160φ以下·210φ以下及260φ以下各自表示保证数值。 出货产品尺寸比25mm薄时，暂时以厚度25mm以上测定保证。 本公司可对应比规格数值更精确的规格，欢迎随时咨询。

  • 04批号内的折射率的误差

    同一批号进行同一退火处理后的ni的误差规格，表示为小数点后的5位数。 表示例：　±1 (×10⁻⁵)

  • 05性能公差

    由于是特別规格，把比产品目录数值高的折射率作为基准，再以比基准值多加±20的公差作为折射率(ni)的容许范围，以小数点后5位数表示. 表示例+20±20

物性特性

•产品目录的格式配合本公司光学玻璃主产品目录的格式，能够用于i线以外的光学类产品。关于诸性质项目，请参照主产品目录。

但是，以下项目则与主产品目录有异。

 

•折射率表示为波长326到2325nm的22条光谱线的折射率。

 

•产品目录上没有记载的波长的折射率使用过去一直使用的Sellmeier色散公式来计算。由于色散公式使用范围的扩大，数据表上记载波长326到1129nm区域时使用的色散公式的常数。如果客户想知道1129nm到2325nm波长区域中的折射率时，请使用下表中记载的色散公式的常数。

 

•内透射率除过去的10mm厚度试样的内透射率(τ10)以外，还记载了进入实用化的25mm厚度试样的内透射率(τ25)。

玻璃种类名 内部透过率τ10mm(365nm) 耐日晒 光学的均質性規格(×10-6) ni批号内误差(×10-5) 性能公差(×10-5)
Φ160mm
以下		 Φ210mm
以下		 Φ260mm
以下
S-FPL51Y 0.997 良好 2.0 － － ±2 +20±20
S-FSL5Y 0.999 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +15±20
BSL7Y 0.998 良好 1.0 1.6 2.0 ±1 +20±20
BAL15Y 0.994 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
BAL35Y 0.996 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +20±20
BSM51Y 0.995 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +30±20
PBL1Y 0.997 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBL6Y 0.998 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBL25Y 0.995 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBL26Y 0.996 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBL35Y 0.997 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBM2Y 0.986 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBM8Y 0.991 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20
PBM18Y 0.993 良好 1.0 1.6 2.0 ±2 +10±20

(注) 光学的均匀性规格：根据玻璃种类和尺寸，本公司可以提供比上述数值更精确的规格，欢迎随时咨询。
(注) 性能公差：本公司可以提供比上述数值更精确的规格，欢迎随时咨询。

1129nm到2325nm波长区域的色散公式的常数

玻璃种类 S-FPL51Y 玻璃种类 BAL35Y 玻璃种类 PBL25Y 玻璃种类 PBM8Y
A1 7.65663766E-01 A1 1.09972335E+00 A1 1.29915001E+00 A1 1.33265695E+00
A2 4.51879777E-01 A2 3.87872537E-01 A2 1.44676555E-01 A2 1.51642865E-01
A3 1.13199134E+00 A3 1.11247378E+00 A3 1.00019303E+00 A3 1.00238959E+00
B1 3.48152533E-03 B1 5.82303457E-03 B1 9.67218844E-03 B1 1.00208464E-02
B2 1.28720516E-02 B2 1.88745144E-02 B2 4.65408008E-02 B2 4.78779669E-02
B3 2.14351131E+02 B3 1.08214962E+02 B3 1.20780522E+02 B3 1.19439670E+02
玻璃种类 S-FSL5Y 玻璃种类 BSM51Y 玻璃种类 PBL26Y 玻璃种类 PBM18Y
A1 8.79731455E-01 A1 1.12268320E+00 A1 1.27520167E+00 A1 1.32558993E+00
A2 3.08634219E-01 A2 4.07804849E-01 A2 1.28823528E-01 A2 1.57859674E-01
A3 1.02136885E+00 A3 1.16161178E+00 A3 1.01138010E+00 A3 1.03396744E+00
B1 4.90947559E-03 B1 5.79521544E-03 B1 9.37656096E-03 B1 1.01008566E-02
B2 1.57419667E-02 B2 1.91303182E-02 B2 4.58001584E-02 B2 4.74276657E-02
B3 1.11412218E+02 B3 1.11113962E+02 B3 1.23589724E+02 B3 1.23686168E+02
玻璃种类 BSL7Y 玻璃种类 PBL1Y 玻璃种类 PBL35Y
A1 1.01218580E+00 A1 1.23587282E+00 A1 1.30190880E+00
A2 2.58122629E-01 A2 1.14028206E-01 A2 1.42348427E-01
A3 1.13916089E+00 A3 9.21822183E-01 A3 9.08115622E-01
B1 5.66358122E-03 B1 8.98302029E-03 B1 9.72147734E-03
B2 1.96285352E-02 B2 4.39009973E-02 B2 4.66540388E-02
B3 1.12904303E+02 B3 1.14338154E+02 B3 1.12377850E+02
玻璃种类 BAL15Y 玻璃种类 PBL6Y 玻璃种类 PBM2Y
A1 1.18261390E+00 A1 1.20208094E+00 A1 1.37920265E+00
A2 2.03921973E-01 A2 1.02467101E-01 A2 1.74908080E-01
A3 1.11763340E+00 A3 1.01797415E+00 A3 9.72480533E-01
B1 6.85280751E-03 B1 8.49251346E-03 B1 1.06616552E-02
B2 2.50893634E-02 B2 4.19306973E-02 B2 4.96089256E-02
B3 1.24101415E+02 B3 1.22687120E+02 B3 1.16926659E+02

用途案例

  • 拍摄/投影
    拍摄/投影
  • 测量设备
    测量设备
  • 太空/天文物体
    太空/天文物体
  • 半导体相关
    半导体相关

查看其他产品

咨询