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i線用高均質性光学ガラス
 
i線用高均質性光学ガラス   i線用高均質性光学ガラスは内部透過率に優れ、ソーラリゼーション(紫外線による着色)を極力抑えた、光学的均質性の良い光学ガラスで、半導体製造装置(ステッパー)及び関連装置(照明用等)に使用されています。
 
2008年10月20日 新開発のPBL35Yが加わりました。

>i線用高均質性光学ガラスの性質
>i線用高均質性光学ガラスデータ
 
 

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